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結合相關(guān)理論得知，三次元測量?jì)x誤差補償方法主要有三種，即溫度補償法、軟件修正補償法、測量力誤差補償法，對此下文將進(jìn)行相關(guān)分析。

1 溫度補償法
溫度是引起三次元測量?jì)x誤差的重要因素，且在此因素條件下，靜態(tài)誤差與動(dòng)態(tài)誤差可能同時(shí)存在，所以在測量當中采用溫度補償法是消除測量誤差的重要舉措。在相關(guān)理論當中，溫度補償法分為三個(gè)部分，即標溫下結構參數標定、溫度實(shí)時(shí)采集、誤差系數補償，下文將對三個(gè)步驟的具體內容進(jìn)行分析。
（1）標溫下結構參數標定。在溫度引起的靜態(tài)誤差當中，需要先確認正常溫度條件下，設備最低誤差參數，即三次元測量?jì)x未受溫度影響之前，其所有結構的參數數值，確認之后即可得到一個(gè)標準的對比參數集，主要用于之后的誤差值對比當中。
（2）溫度實(shí)時(shí)采集。在完成上述參數標定工作之后，需要對當前存在溫度誤差的三次元測量?jì)x。依照標定參數集中的每個(gè)參數項進(jìn)行實(shí)際測量、采集，以得到設備當前的參數集合。之后將參數標定結果與實(shí)際采集結果相互對比，即可得到當前三次元測量?jì)x誤差與標準參數之間的差距，以供后續補償調整。
（3）誤差系數補償。根據上述溫度實(shí)時(shí)采集與標定參數的對比結果，可以采用溫度熱變形誤差公式來(lái)進(jìn)行補償，在補償過(guò)程當中，要將對比得出的三次元測量?jì)x實(shí)際誤差與參數誤差的比值代入公式當中，通過(guò)數值補償將設備參數調整到與標定參數一致的水平下即可。
此外，介于上述分析可見(jiàn)，溫度補償法的應用相對復雜，且需要進(jìn)行多項對比，那么為了保障該方法應用順利，建議采用仿真軟件來(lái)模擬標定參數設備與誤差設備，以此得到兩個(gè)模型，借助模型的直觀(guān)性可以簡(jiǎn)化其中計算過(guò)程。

2 軟件修正補償法
軟件修正補償法是一種針對三次元測量?jì)x動(dòng)態(tài)誤差來(lái)進(jìn)行補償的方法，在實(shí)際應用當中十分常見(jiàn)。具體應用上，介于上述動(dòng)態(tài)誤差的溫度、環(huán)境、人工分析結果可見(jiàn)，動(dòng)態(tài)誤差可以被分為兩個(gè)類(lèi)型，這兩個(gè)類(lèi)型被稱(chēng)為實(shí)時(shí)性動(dòng)態(tài)誤差、非實(shí)時(shí)性動(dòng)態(tài)誤差，那么針對實(shí)時(shí)性動(dòng)態(tài)誤差，在軟件修正補償法當中，直接對現場(chǎng)誤差數據進(jìn)行調整，使其與標準參數一致即可；針對非實(shí)時(shí)性誤差，則利用采集系統來(lái)獲得設備當前誤差系數，再結合標準系數進(jìn)行矯正即可。

3 測量力誤差補償法
在三次元測量?jì)x應用當中，如果其測量力存在異常容易導致側桿彎曲，相應引起誤差現象，此類(lèi)誤差屬于非實(shí)時(shí)性動(dòng)態(tài)誤差，那么針對此類(lèi)誤差，除了上述提到的軟件修正補償法以外，還可以采用測量力誤差補償法來(lái)進(jìn)行調整。具體應用當中，首先利用仿真軟件（或其他建模軟件）來(lái)建立三次元測量?jì)x的測頭、測桿結構模型，其次將當前測量力輸入模型當中，在看測桿是否彎曲、彎曲程度，如果存在彎曲，則減弱模型中的測量力，直至測桿不彎曲，且滿(mǎn)足測量需求位置，最終將模型測量力參數輸入三次元測量?jì)x當中即可起到應有效果。